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2024量子精密測量賦能產(chǎn)業(yè)發(fā)展大會誠邀參會!5月21日,第三屆量子科儀節(jié)與您合肥相約

更新時間:2024-05-16      點(diǎn)擊次數(shù):3683

2024量子精密測量賦能產(chǎn)業(yè)發(fā)展大會誠邀參會!5月21日,第三屆量子科儀節(jié)與您合肥相約

        本文轉(zhuǎn)載自微信公眾號:中國科大理化科學(xué)實(shí)驗(yàn)中

近日,中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)理化科學(xué)實(shí)驗(yàn)中心新安裝了國儀量子自主研制的超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡SEM5000X。目前,該設(shè)備已完成前期調(diào)試,即將投入試運(yùn)行。

2024量子精密測量賦能產(chǎn)業(yè)發(fā)展大會誠邀參會!5月21日,第三屆量子科儀節(jié)與您合肥相約

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中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)理化科學(xué)實(shí)驗(yàn)中心是中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)公共技術(shù)創(chuàng)新平臺實(shí)驗(yàn)中心之一,從1979年開始籌建。中心以“集中投入、統(tǒng)一管理、開放公用、資源共享"為建設(shè)原則,以建立條件優(yōu)良、功能配套、管理規(guī)范、先進(jìn)高效的優(yōu)質(zhì)資源和共享機(jī)制為建設(shè)目標(biāo),為培養(yǎng)創(chuàng)新人才和開展高水平科學(xué)研究工作提供技術(shù)支撐,為社會經(jīng)濟(jì)建設(shè)提供技術(shù)保障。作為學(xué)校最早建成的大型儀器開放平臺,中心不僅承擔(dān)著相關(guān)院系、國家研究中心、國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,省部級實(shí)驗(yàn)室以及國家、省部級等各類科研項(xiàng)目的技術(shù)支持分析測試任務(wù),同時,也對相關(guān)學(xué)科提供教學(xué)、科研實(shí)驗(yàn)條件與環(huán)境。

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SEM5000X是一款超高分辨率場發(fā)射掃描電子顯微鏡,其分辨率達(dá)到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV。高分辨物鏡設(shè)計(jì)、高壓隧道技術(shù)(SuperTunnel)以及鏡筒工藝升級,實(shí)現(xiàn)了低電壓分辨率的進(jìn)一步提升。全新設(shè)計(jì)的樣品倉,擴(kuò)展接口增加至16個,快速換樣倉最大支持8寸晶圓(最大直徑208 mm),極大擴(kuò)展應(yīng)用范圍。高級掃描模式和自動功能增強(qiáng),帶來了更強(qiáng)的性能和更好的體驗(yàn)。

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產(chǎn)品優(yōu)勢


  • 超高分辨率成像,達(dá)到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV

  • 樣品臺減速和高壓隧道技術(shù)組合的雙減速技術(shù),挑戰(zhàn)極限樣品拍攝場景

  • 高精度機(jī)械優(yōu)中心樣品臺、超穩(wěn)定性的機(jī)架減震設(shè)計(jì),可搭配整體罩殼設(shè)計(jì),極大減弱環(huán)境對極限分辨率的影響

  • 最大支持8寸晶圓(最大直徑208 mm)的快速換樣倉,滿足半導(dǎo)體和科研應(yīng)用需求

應(yīng)用案例

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