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國儀量子應(yīng)用中心儀器上新——場發(fā)射掃描電鏡SEM5000

更新時間：2022-06-23      點(diǎn)擊次數(shù)：6828

近日，國儀量子應(yīng)用中心迎來重磅新品——場發(fā)射掃描電鏡SEM5000。

SEM5000是一款分辨率高、功能豐富的場發(fā)射掃描電子顯微鏡，有著先進(jìn)的鏡筒設(shè)計(jì)，鏡筒內(nèi)減速、低像差無漏磁物鏡設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)了低電壓高分辨率成像，同時可適用于磁性樣品。SEM5000具有光學(xué)導(dǎo)航、完善的自動功能、精心設(shè)計(jì)的人機(jī)交互，優(yōu)化的操作和使用流程。

無論操作者是否具有豐富經(jīng)驗(yàn)，都可以快速上手，完成高分辨率拍攝任務(wù)。


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<<< 左右滑動查看SEM5000 >>>


電子槍類型：高亮度肖特基場發(fā)射電子槍

分辨率：1 nm @ 15 kV 

1.5 nm @ 1 kV

放大倍率：1 ~ 1000000 x

加速電壓：20 V ~ 30 kV

樣品臺：五軸全自動樣品臺

產(chǎn)品特點(diǎn)


01

分辨率高，低加速電壓下實(shí)現(xiàn)高分辨成像


02

電磁復(fù)合物鏡，減小像差，顯著提高低電壓下的分辨率，而且可觀察磁性樣品


03

鏡筒內(nèi)減速，在隧道中的電子能保持高能量，減少了空間電荷效應(yīng)，低電壓分辨率得到保證


04

電子光路無交叉，有效降低系統(tǒng)像差，提升分辨能力


05

水冷恒溫物鏡，保證物鏡工作的穩(wěn)定性、可靠性和可重復(fù)性


06

磁偏轉(zhuǎn)六孔可調(diào)光闌，自動切換光闌孔，無需機(jī)械調(diào)節(jié)，實(shí)現(xiàn)高分辨率觀察或大束流分析模式快速切換


應(yīng)用領(lǐng)域

場發(fā)射掃描電鏡SEM5000可廣泛應(yīng)用于鋰電、芯片半導(dǎo)體、陶瓷、建筑材料、電子元器件、化學(xué)化工、生物醫(yī)療、環(huán)保、金屬材料等領(lǐng)域。


場發(fā)射掃描電鏡SEM5000拍攝案例


櫻花花粉

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經(jīng)偽彩處理

NVP

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TIO2

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鈦酸鋰

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正極極片

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負(fù)極極片

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極片表面的導(dǎo)電添加劑

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隔膜

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